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IC后端设计中的shrink系数设置方法
我正在「拾陆楼」和朋友们讨论有趣的话题，你⼀起来吧？
在一些成熟的工艺节点通过shrink的方式（光照过程中缩小特征尺寸比例）得到了半节点，比如40nm从45nm shrink得到，28nm从32nm shrink得到，由于半节点的性能更优异，成本又低，漏电等不利因素也可以通过工艺参数调节，导致pre shrink的工艺节点无人问津，这篇文章我们
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- 原文地址：https://blog.csdn.net/m0_61544122/article/details/140342053