在做 X 射线光电子能谱(XPS)测试时，科学指南针检测平台工作人员在与很多同学沟通中了解到，好多同学仅仅是通过文献或者师兄师姐的推荐对XPS有了解，但是对于其原理还属于小白阶段，针对此，科学指南针检测平台团队组织相关同事对网上海量知识进行整理，希望可以帮助到科研圈的伙伴们；
除了半定量精度的问题以外。XPS和EDS有以下两个问题需要注意。 1）XPS检测信号来源于样品表面数纳米的深度；SEM-EDS 信号来源于样品表面数百至微米级的深度，对于纳米粒子，可以认为这个深度已经包含整个颗粒。 2）XPS 检测信号来源于样品表面纳米级的区域范围，既包括你的纳米颗粒，也包括衬底的硅片，以及硅片上的杂质；SEM-EDS信号来源于样品表面微米甚至纳米尺度范围的信息，如果是点分析的话，可以认为信号主要来源于某一个纳米颗粒或其聚集体， 衬底的信号相对较弱，衬底上的杂质颗粒，甚至长得不够漂亮的颗粒，都会被有意无意地忽略掉。 XPS对表面敏感，有可能表面有污染，比如某种离子体洗净等，就会对表面影响很大， EDS对体相1微米左右以下的区域有信号反应，另外XPS是半定量没错，eds 根本就不能定量，就算做过标样标定都有5%以上的误差，没做过的话根本不能用于定量的，ICP 确实可以确认整体元素分布，另外你如果颗粒很小的话，强烈不建议用扫描能谱， 基底信号很强的，干扰很大，可以考虑透射能谱，会好很多。首先二者半定量，只能定性的看，其次XPS表面元素检测（几个nm）。最后为了知道准确结果，定量说明，你补个ICP，那个是最准确。
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