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  • 保护环GuardRing(基于IC617)


    这里是基于目前学习情况的总结,道行比较浅,非常欢迎同行们对于相关知识进行评论,对错误的地方进行指出,感谢大家~

    一、情况说明

    • 工具:基于IC617的Multipart Path
      在这里插入图片描述
    • 工艺:smic18
    • 情况:基于在不了解工艺,也不查看designrule的情况下制作单排孔/多排孔的GuardRing
    • 前提
      • 主要有两种GuardRing,一个是SN GuardRing,一个是SP GuardRing,SP GuardRing会比SN GuardRing多一层NM,所以我们首先先做SN GuardRing,后续基于SN GuardRing再来制作SP GuardRing
      • 然后基于单排孔来制作多排孔
    • 了解层次
      • SN GuardRing:
        • AA:有源区,作为GuardRing的基底,主要是设置对应宽度就行
        • CT:通孔,用Subrectangle创建,主要设置通孔的长宽、通孔之间的间距以及边缘到AA之间距离
        • M1:金属1,用Offset subpath创建,主要设置M1的宽度
        • SN:SN注入,用Offset subpath创建,主要设置SN的宽度以及到AA之间距离
      • SP GuardRing:
        • 其他的同上
        • NM:N井
    • 总结
      • 目前制作的思路是先做AA有源区,设置好对应的宽度;在在这个基础上,先放CT,再放M1,最后放SN
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  • 原文地址:https://blog.csdn.net/weixin_43816759/article/details/125568623
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