这里是基于目前学习情况的总结,道行比较浅,非常欢迎同行们对于相关知识进行评论,对错误的地方进行指出,感谢大家~
一、情况说明
- 工具:基于IC617的Multipart Path

- 工艺:smic18
- 情况:基于在不了解工艺,也不查看designrule的情况下制作单排孔/多排孔的GuardRing
- 前提
- 主要有两种GuardRing,一个是SN GuardRing,一个是SP GuardRing,SP GuardRing会比SN GuardRing多一层NM,所以我们首先先做SN GuardRing,后续基于SN GuardRing再来制作SP GuardRing
- 然后基于单排孔来制作多排孔
- 了解层次
- SN GuardRing:
- AA:有源区,作为GuardRing的基底,主要是设置对应宽度就行
- CT:通孔,用Subrectangle创建,主要设置通孔的长宽、通孔之间的间距以及边缘到AA之间距离
- M1:金属1,用Offset subpath创建,主要设置M1的宽度
- SN:SN注入,用Offset subpath创建,主要设置SN的宽度以及到AA之间距离
- SP GuardRing:
- 总结
- 目前制作的思路是先做AA有源区,设置好对应的宽度;在在这个基础上,先放CT,再放M1,最后放SN